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净化工程
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电子工业净化工程1

点击次数:        更新时间:2020-7-19 22:12:32
注意事项:1、人流1-1、人员净化:1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;1-3、单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁
 电子工业净化工程1

详细描述

注意事项:
1、人流
1-1、人员净化:
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;
1-3、单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。

2、物流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

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